扫描电镜原理是什么
2024-01-07
扫描电镜原理是什么? 扫描电镜是一种高分辨率的显微镜,它利用电子束与样品的相互作用,通过扫描样品表面并测量电子的反射,从而生成高质量的图像。本文将从以下六个方面对扫描电镜原理进行详细阐述:电子源、透镜系统、样品制备、扫描系统、检测系统和图像处理系统。 电子源 扫描电镜的电子源通常是热阴极电子枪,通过加热钨丝产生电子,然后将电子加速到高能级。这些电子被聚焦到一个小点,然后通过透镜系统聚焦到样品表面。这种电子源的优点是产生高能电子,从而提高了分辨率。 透镜系统 透镜系统是扫描电镜的关键部分,它用于